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低介電常數材料製備與蝕刻製程之研究

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中原大學化學工程所

低介電常數材料製備與蝕刻製程之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	劉志宏
其他團體作者:	中原大學化學工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	111頁 : 11x15公分;
標題:	化學工程 -
附註:	MOE88-1004-8771003

低介電常數材料製備與蝕刻製程之研究
劉志宏

低介電常數材料製備與蝕刻製程之研究 / 劉志宏撰 ; 中原大學化學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 111頁 ; 11x15公分.
MOE88-1004-8771003.
化學工程

低介電常數材料製備與蝕刻製程之研究
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
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典藏地名稱

館藏流通類別

833460000001569

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 460 7243-B V1

1.一般(Normal)

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833460000001570

三樓視聽資料區

3.不外借

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MF 460 7243-B V2

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