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化學機械研磨:研磨墊表面之平坦化

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台灣科技大學化學工程所

化學機械研磨:研磨墊表面之平坦化

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳政佑
其他團體作者:	台灣科技大學化學工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	133頁 : 11x15公分;
標題:	化學工程 -
附註:	MOE88-0102-M8706021

化學機械研磨:研磨墊表面之平坦化
陳政佑

化學機械研磨:研磨墊表面之平坦化 / 陳政佑撰 ; 台灣科技大學化學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 133頁 ; 11x15公分.
MOE88-0102-M8706021.
化學工程

化學機械研磨:研磨墊表面之平坦化
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215 $a 133頁 $d 11x15公分
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833460000001507

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 460 7512-C V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833460000001508

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 460 7512-C V2

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