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電感耦合電漿蝕刻系統對磷化銦鎵鋁蝕刻之研究

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交通大學電子物理所

電感耦合電漿蝕刻系統對磷化銦鎵鋁蝕刻之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	莊宗伯
其他團體作者:	交通大學電子物理所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	74頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0007-8721536

電感耦合電漿蝕刻系統對磷化銦鎵鋁蝕刻之研究
莊宗伯

電感耦合電漿蝕刻系統對磷化銦鎵鋁蝕刻之研究 / 莊宗伯撰 ; 交通大學電子物理所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 74頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8721536.
電子工程

電感耦合電漿蝕刻系統對磷化銦鎵鋁蝕刻之研究
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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600001148

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 4432-D

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