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無柵極離子束沉積法低介電常數類鑽碳薄膜之研究

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交通大學材料科學與工程所

無柵極離子束沉積法低介電常數類鑽碳薄膜之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	黃秀鈴
其他團體作者:	交通大學材料科學與工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	90頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0007-8718524

無柵極離子束沉積法低介電常數類鑽碳薄膜之研究
黃秀鈴

無柵極離子束沉積法低介電常數類鑽碳薄膜之研究 / 黃秀鈴撰 ; 交通大學材料科學與工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 90頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8718524.
工程材料

無柵極離子束沉積法低介電常數類鑽碳薄膜之研究
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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300001014

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 4428

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