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cmp拋光參數之研究與評估

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交通大學機械工程所

cmp拋光參數之研究與評估

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林義文
其他團體作者:	交通大學機械工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	85頁 : 11x15公分;
標題:	機機工程 -
附註:	MOE88-0007-8714527

cmp拋光參數之研究與評估
林義文

cmp拋光參數之研究與評估 / 林義文撰 ; 交通大學機械工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 85頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8714527.
機機工程

cmp拋光參數之研究與評估
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833446000002020

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 446 4480

1.一般(Normal)

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