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銅化學氣相沈基本特性及以ni和nisi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究

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交通大學電子工程所

銅化學氣相沈基本特性及以ni和nisi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林鈺鈞
其他團體作者:	交通大學電子工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	59頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0007-8711564

銅化學氣相沈基本特性及以ni和nisi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究
林鈺鈞

銅化學氣相沈基本特性及以ni和nisi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究 / 林鈺鈞撰 ; 交通大學電子工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 59頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8711564.
電子工程

銅化學氣相沈基本特性及以ni和nisi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究
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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600001061

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微縮資料(microform)

MF 448.6 4488

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