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hsq的熱學性質及hsq和擴散金屬鉭(ta)對銅電致遷移的影響

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交通大學電子工程所

hsq的熱學性質及hsq和擴散金屬鉭(ta)對銅電致遷移的影響

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	宋文立
其他團體作者:	交通大學電子工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	124頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0007-8711551

hsq的熱學性質及hsq和擴散金屬鉭(ta)對銅電致遷移的影響
宋文立

hsq的熱學性質及hsq和擴散金屬鉭(ta)對銅電致遷移的影響 / 宋文立撰 ; 交通大學電子工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 124頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8711551.
電子工程

hsq的熱學性質及hsq和擴散金屬鉭(ta)對銅電致遷移的影響
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833448600001045

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