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疊形複晶矽結構在閘極氧化層與金屬矽化物之可靠度研究

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交通大學電子工程所

疊形複晶矽結構在閘極氧化層與金屬矽化物之可靠度研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林信翔
其他團體作者:	交通大學電子工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	197頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0007-8711523

疊形複晶矽結構在閘極氧化層與金屬矽化物之可靠度研究
林信翔

疊形複晶矽結構在閘極氧化層與金屬矽化物之可靠度研究 / 林信翔撰 ; 交通大學電子工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 197頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8711523.
電子工程

疊形複晶矽結構在閘極氧化層與金屬矽化物之可靠度研究
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833448600001022

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