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銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用

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交通大學電子工程所

銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林璧君
其他團體作者:	交通大學電子工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	175頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0007-8111863-D

銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用
林璧君

銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用 / 林璧君撰 ; 交通大學電子工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 175頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8111863-D.
電子工程

銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000933

三樓視聽資料區

3.不外借

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MF 448.6 4471-C V1

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MF 448.6 4471-C V2

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