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低介電常數材料對二氧化矽覆蓋層化學機械研磨行為之影響
~
中興大學機械工程所
低介電常數材料對二氧化矽覆蓋層化學機械研磨行為之影響
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
劉興村
其他團體作者:
中興大學機械工程所
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:
1999
面頁冊數:
88頁 : 11x15公分;
標題:
機械工程 -
附註:
MOE88-0006-78761016
低介電常數材料對二氧化矽覆蓋層化學機械研磨行為之影響
劉興村
低介電常數材料對二氧化矽覆蓋層化學機械研磨行為之影響
/ 劉興村 撰 ; 中興大學機械工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 88頁 ; 11x15公分.
MOE88-0006-78761016.
機械工程
低介電常數材料對二氧化矽覆蓋層化學機械研磨行為之影響
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20030226
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三樓視聽資料區
館藏
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典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
833446000001935
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 446 7274
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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