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以準分子雷射退火製備低溫多晶矽材料特性及表面狀態之研究

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台灣大學電機工程所

以準分子雷射退火製備低溫多晶矽材料特性及表面狀態之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	孟昭宇
其他團體作者:	台灣大學電機工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	97頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	MOE88-0003-R87921072

以準分子雷射退火製備低溫多晶矽材料特性及表面狀態之研究
孟昭宇

以準分子雷射退火製備低溫多晶矽材料特性及表面狀態之研究 / 孟昭宇撰 ; 台灣大學電機工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 97頁 ; 11x15公分.
MOE88-0003-R87921072.
電機工程

以準分子雷射退火製備低溫多晶矽材料特性及表面狀態之研究
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210 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 $d 1999
215 $a 97頁 $d 11x15公分
300 $a MOE88-0003-R87921072
606 $a 電機工程 $3 9918
700 $a 孟昭宇 $4 撰 $3 268781
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448000002507

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 1763 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

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833448000002508

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 1763 V2

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