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垂直式晶圓快速熱處理爐脈衝加熱之暫態熱流分析

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台灣大學應用力學所

垂直式晶圓快速熱處理爐脈衝加熱之暫態熱流分析

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	鄭永群
其他團體作者:	台灣大學應用力學所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	103頁 : 11x15公分;
標題:	應用力學 -
附註:	MOE88-0003-R87543052

垂直式晶圓快速熱處理爐脈衝加熱之暫態熱流分析
鄭永群

垂直式晶圓快速熱處理爐脈衝加熱之暫態熱流分析 / 鄭永群撰 ; 台灣大學應用力學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 103頁 ; 11x15公分.
MOE88-0003-R87543052.
應用力學

垂直式晶圓快速熱處理爐脈衝加熱之暫態熱流分析
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440130000065

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.13 8731 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833440130000066

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.13 8731 V2

1.一般(Normal)

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