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cmos標準製程結構殘留應變之研究

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台灣大學應用力學所

cmos標準製程結構殘留應變之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	鄭仁傑
其他團體作者:	台灣大學應用力學所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	74頁 : 11x15公分;
標題:	應用力學 -
附註:	MOE88-0003-R86543031

cmos標準製程結構殘留應變之研究
鄭仁傑

cmos標準製程結構殘留應變之研究 / 鄭仁傑撰 ; 台灣大學應用力學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 74頁 ; 11x15公分.
MOE88-0003-R86543031.
應用力學

cmos標準製程結構殘留應變之研究
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館藏流通類別

833440130000015

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