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無電鍍銅膜應用於內連線之研究

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清華大學材料科學工程所

無電鍍銅膜應用於內連線之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	盧明昌
其他團體作者:	清華大學材料科學工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	64頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0002-G873583

無電鍍銅膜應用於內連線之研究
盧明昌

無電鍍銅膜應用於內連線之研究 / 盧明昌撰 ; 清華大學材料科學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 64頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-G873583.
工程材料

無電鍍銅膜應用於內連線之研究
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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000872

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微縮資料(microform)

MF 440.3 2166

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