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探討在感應耦合電漿系統中之氧氣電漿的特性

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林于尹

探討在感應耦合電漿系統中之氧氣電漿的特性

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林于尹
其他團體作者:	清華大學材料科學工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	84頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0002-G873518

探討在感應耦合電漿系統中之氧氣電漿的特性
林于尹

探討在感應耦合電漿系統中之氧氣電漿的特性 / 林于尹撰 ; 清華大學材料科學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 84頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-G873518.
工程材料

探討在感應耦合電漿系統中之氧氣電漿的特性
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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000867

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 4411-B

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