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以電子迴旋共振化學氣相沈積氫稀釋法製作矽光偵測器

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清華大學電子工程所

以電子迴旋共振化學氣相沈積氫稀釋法製作矽光偵測器

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	賴志偉
其他團體作者:	清華大學電子工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	72頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0002-875047

以電子迴旋共振化學氣相沈積氫稀釋法製作矽光偵測器
賴志偉

以電子迴旋共振化學氣相沈積氫稀釋法製作矽光偵測器 / 賴志偉撰 ; 清華大學電子工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 72頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-875047.
電子工程

以電子迴旋共振化學氣相沈積氫稀釋法製作矽光偵測器
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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000884

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 5742

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