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濺鍍鉭基薄膜的相轉變機制與在銅金屬化處理之擴散阻礙層性質研究
~
陳松德
濺鍍鉭基薄膜的相轉變機制與在銅金屬化處理之擴散阻礙層性質研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
陳松德
出版地:
台北巿
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
118頁 :
標題:
材料科學 -
附註:
MOE87-1007-8605000;陳錦山 指導教授
濺鍍鉭基薄膜的相轉變機制與在銅金屬化處理之擴散阻礙層性質研究
陳松德
濺鍍鉭基薄膜的相轉變機制與在銅金屬化處理之擴散阻礙層性質研究
/ 陳松德 撰 - 台北巿 : 國科會科學技術資料中心 - 118頁.
MOE87-1007-8605000;陳錦山 指導教授.
材料科學
濺鍍鉭基薄膜的相轉變機制與在銅金屬化處理之擴散阻礙層性質研究
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20010207
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
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833440300000625
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 7542 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833440300000626
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 7542 V2
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