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aln/tan及alon/taon多層膜減相移式光罩之研究

~

吳文斌

aln/tan及alon/taon多層膜減相移式光罩之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	吳文斌
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	104頁 :
標題:	工程材料 -
附註:	MOE87-1102-68607013；賴富德指導教授

aln/tan及alon/taon多層膜減相移式光罩之研究
吳文斌

aln/tan及alon/taon多層膜減相移式光罩之研究 / 吳文斌撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 104頁.
MOE87-1102-68607013；賴富德指導教授.
工程材料

aln/tan及alon/taon多層膜減相移式光罩之研究
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20010207

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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000600

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 2600 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

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833440300000601

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 2600 V2

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