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化學氣相沉積鎢膜及矽化鎢膜在極大型積體電路之應用
~
王銘材
化學氣相沉積鎢膜及矽化鎢膜在極大型積體電路之應用
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
王銘材
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
281頁 :
標題:
電子工程 -
附註:
MOE87-0007-8111826-D;陳茂傑 指導教授
化學氣相沉積鎢膜及矽化鎢膜在極大型積體電路之應用
王銘材
化學氣相沉積鎢膜及矽化鎢膜在極大型積體電路之應用
/ 王銘材 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 281頁.
MOE87-0007-8111826-D;陳茂傑 指導教授.
電子工程
化學氣相沉積鎢膜及矽化鎢膜在極大型積體電路之應用
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20010201
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3 筆 • 頁數 1 •
1
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833448600000730
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MF 448.6 1084-A V2
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