以微波電漿化學氣相沉積法在矽晶上沈積三元矽氮化碳薄膜的結構與特性
楊博如

 

  • 以微波電漿化學氣相沉積法在矽晶上沈積三元矽氮化碳薄膜的結構與特性
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 楊博如
    出版地: 台北市
    出版者: 國科會科學技術資料中心;
    面頁冊數: 97頁 :
    標題: 工程材料 -
    附註: MOE89-0007-8618533;郭正次 指導教授
館藏
  • 2 筆 • 頁數 1 •
 
833440300000528 三樓視聽資料區 3.不外借 微縮資料(microform) MF 440.3 4644 V1 1.一般(Normal) 限閱(視聽區) 0
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  • 2 筆 • 頁數 1 •
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