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低介電常數材料hsq與銅導線製程整合之研究
~
鄭懿芳
低介電常數材料hsq與銅導線製程整合之研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
鄭懿芳
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
89頁 :
標題:
工程材料 -
附註:
MOE89-0007-8618501；馮明憲 指導教授
低介電常數材料hsq與銅導線製程整合之研究
鄭懿芳
低介電常數材料hsq與銅導線製程整合之研究
/ 鄭懿芳 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 89頁.
MOE89-0007-8618501；馮明憲 指導教授.
工程材料
低介電常數材料hsq與銅導線製程整合之研究
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大葉大學
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20010131
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三樓視聽資料區
館藏
1 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
833440300000471
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 8744
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
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