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以氨氣/ar或氮氣/ar為混合氣體之rf濺鍍成長tanx薄膜及其在擴散障...
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詹明雄
以氨氣/ar或氮氣/ar為混合氣體之rf濺鍍成長tanx薄膜及其在擴散障壁層上之應用及比較
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
詹明雄
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
109頁 :
標題:
化學工程 -
附註:
MOE87-0102-M8606019;李嘉平 指導教授
以氨氣/ar或氮氣/ar為混合氣體之rf濺鍍成長tanx薄膜及其在擴散障壁層上之應用及比較
詹明雄
以氨氣/ar或氮氣/ar為混合氣體之rf濺鍍成長tanx薄膜及其在擴散障壁層上之應用及比較
/ 詹明雄 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 109頁.
MOE87-0102-M8606019;李嘉平 指導教授.
化學工程
以氨氣/ar或氮氣/ar為混合氣體之rf濺鍍成長tanx薄膜及其在擴散障壁層上之應用及比較
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20010130
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
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附件
833460000000784
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 460 2764 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
833460000000785
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 460 2764 V2
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