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快速加熱低壓化學氣相沉積氧化鉭薄膜之製備與電性

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黃蘭婷

快速加熱低壓化學氣相沉積氧化鉭薄膜之製備與電性

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	黃蘭婷
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	69頁 :
標題:	電子工程 -
附註:	MOE87-0007-8611555；曾俊元指導教授

快速加熱低壓化學氣相沉積氧化鉭薄膜之製備與電性
黃蘭婷

快速加熱低壓化學氣相沉積氧化鉭薄膜之製備與電性 / 黃蘭婷撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 69頁.
MOE87-0007-8611555；曾俊元指導教授.
電子工程

快速加熱低壓化學氣相沉積氧化鉭薄膜之製備與電性
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000570

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 4444-B

1.一般(Normal)

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