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利用nh3電漿處理來改善低介電常數材料hsq在銅連線上的應用

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葉斯哲

利用nh3電漿處理來改善低介電常數材料hsq在銅連線上的應用

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	葉斯哲
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	70頁 :
標題:	電子工程 -
附註:	MOE87-0007-8611549；張國明指導教授

利用nh3電漿處理來改善低介電常數材料hsq在銅連線上的應用
葉斯哲

利用nh3電漿處理來改善低介電常數材料hsq在銅連線上的應用 / 葉斯哲撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 70頁.
MOE87-0007-8611549；張國明指導教授.
電子工程

利用nh3電漿處理來改善低介電常數材料hsq在銅連線上的應用
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000561

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 4445-A

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