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電漿處理對低溫複晶矽薄膜電晶體特性和可靠度之影響
~
楊明瑞
電漿處理對低溫複晶矽薄膜電晶體特性和可靠度之影響
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
楊明瑞
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
125頁 :
標題:
電子工程 -
附註:
MOE87-0007-8611517；黃調元 指導教授
電漿處理對低溫複晶矽薄膜電晶體特性和可靠度之影響
楊明瑞
電漿處理對低溫複晶矽薄膜電晶體特性和可靠度之影響
/ 楊明瑞 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 125頁.
MOE87-0007-8611517；黃調元 指導教授.
電子工程
電漿處理對低溫複晶矽薄膜電晶體特性和可靠度之影響
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20010118
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
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833448600000523
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MF 448.6 4661 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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MF 448.6 4661 V2
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