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利用雷射剝蝕法-感應耦合電漿-質譜儀(la-icp-ms)分析半導體製程...
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徐健騰
利用雷射剝蝕法-感應耦合電漿-質譜儀(la-icp-ms)分析半導體製程之沈積薄膜的研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
徐健騰
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
120頁 : 11x15公分;
標題:
原子科學 -
附註:
MOE87-0002-864529; 楊末雄 指導教授
利用雷射剝蝕法-感應耦合電漿-質譜儀(la-icp-ms)分析半導體製程之沈積薄膜的研究
徐健騰
利用雷射剝蝕法-感應耦合電漿-質譜儀(la-icp-ms)分析半導體製程之沈積薄膜的研究
/ 徐健騰 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 120頁 ; 11x15公分.
MOE87-0002-864529; 楊末雄 指導教授.
原子科學
利用雷射剝蝕法-感應耦合電漿-質譜儀(la-icp-ms)分析半導體製程之沈積薄膜的研究
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20001122
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
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833339000000045
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 339 2827 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
833339000000046
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 339 2827 V2
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