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矽晶圓微量金屬超潔淨研究

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吳柏偉

矽晶圓微量金屬超潔淨研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	吳柏偉
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	92頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE87-0002-863579; 陳建瑞指導教授

矽晶圓微量金屬超潔淨研究
吳柏偉

矽晶圓微量金屬超潔淨研究 / 吳柏偉撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 92頁 ; 11x15公分.
MOE87-0002-863579; 陳建瑞指導教授.
工程材料

矽晶圓微量金屬超潔淨研究
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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000382

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 2642

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