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氮化鈦薄膜在超大型積體電路製程上之應用
~
彭遠清
氮化鈦薄膜在超大型積體電路製程上之應用
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
彭遠清
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
174頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE87-0002-823560-D; 陳力俊 指導教授
氮化鈦薄膜在超大型積體電路製程上之應用
彭遠清
氮化鈦薄膜在超大型積體電路製程上之應用
/ 彭遠清 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 174頁 ; 11x15公分.
MOE87-0002-823560-D; 陳力俊 指導教授.
工程材料
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20001117
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
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典藏地名稱
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833440300000269
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4233 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
833440300000270
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4233 V2
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