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晶圓切割系統之振動量測光機電系統

~

張興政

晶圓切割系統之振動量測光機電系統

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	沈聖智
其他作者:	張興政
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	88頁 : 11x15公分;
標題:	自動控制工程 -
附註:	MOE86-1007-M8502376

晶圓切割系統之振動量測光機電系統
沈聖智

晶圓切割系統之振動量測光機電系統 / 沈聖智撰 ; 張興政指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 88頁 ; 11x15公分.
MOE86-1007-M8502376.
自動控制工程

張興政

晶圓切割系統之振動量測光機電系統
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200 1 $a 晶圓切割系統之振動量測光機電系統 $f 沈聖智撰 $g 張興政指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 88頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-1007-M8502376
606 $a 自動控制工程 $3 26204
700 $a 沈聖智 $4 撰 $3 101220
702 $a 張興政 $4 指導 $3 101213
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000619

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館藏

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1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448900000024

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.9 3418

1.一般(Normal)

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