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以單一光罩及koh非均向性蝕刻製作矽(100)一維及二維多步階結構之研究

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李建志

以單一光罩及koh非均向性蝕刻製作矽(100)一維及二維多步階結構之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	李建志
其他作者:	溫武義
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	62頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE86-1004-8576003

以單一光罩及koh非均向性蝕刻製作矽(100)一維及二維多步階結構之研究
李建志

以單一光罩及koh非均向性蝕刻製作矽(100)一維及二維多步階結構之研究 / 李建志撰 ; 溫武義指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 62頁 ; 11x15公分.
MOE86-1004-8576003.
電子工程

溫武義

以單一光罩及koh非均向性蝕刻製作矽(100)一維及二維多步階結構之研究
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101 $a chi
102 $a tw
200 1 $a 以單一光罩及koh非均向性蝕刻製作矽(100)一維及二維多步階結構之研究 $f 李建志撰 $g 溫武義指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 62頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-1004-8576003
606 $a 電子工程 $3 505
700 $a 李建志 $4 撰 $3 43346
702 $a 溫武義 $4 指導 $3 79323
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000613

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館藏

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1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000431

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 4014-A

1.一般(Normal)

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