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氮氣與氬氣流量比對以磁控濺鍍法所成長之氮化鎢薄膜的效應

~

李嘉平

氮氣與氬氣流量比對以磁控濺鍍法所成長之氮化鎢薄膜的效應

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陸玟成
其他作者:	李嘉平
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	87頁 : 11x15公分;
標題:	台北市 -
附註:	MOE86-0102-8506011

氮氣與氬氣流量比對以磁控濺鍍法所成長之氮化鎢薄膜的效應
陸玟成

氮氣與氬氣流量比對以磁控濺鍍法所成長之氮化鎢薄膜的效應 / 陸玟成撰 ; 李嘉平指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 87頁 ; 11x15公分.
MOE86-0102-8506011.
台北市

李嘉平

氮氣與氬氣流量比對以磁控濺鍍法所成長之氮化鎢薄膜的效應
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館藏

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1

典藏地名稱

館藏流通類別

833460000000294

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 460 7415

1.一般(Normal)

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