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綜合應用各種光學方法來改善積體電路光學微影製程之模擬與研究
~
張仲興
綜合應用各種光學方法來改善積體電路光學微影製程之模擬與研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
張仲興
其他作者:
賴英杰
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
137頁 : 11x15公分;
標題:
光電工程 -
附註:
MOE86-0007-8524517
綜合應用各種光學方法來改善積體電路光學微影製程之模擬與研究
張仲興
綜合應用各種光學方法來改善積體電路光學微影製程之模擬與研究
/ 張仲興 撰 ; 賴英杰 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 137頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8524517.
光電工程
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20000527
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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典藏地名稱
館藏流通類別
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索書號
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借閱狀態
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833448600000302
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448.6 1127 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833448600000303
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448.6 1127 V2
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