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應用於砷化嫁功率金屬半導體場效電晶體閘極蝕製程之選擇性蝕刻法
~
劉增豊
應用於砷化嫁功率金屬半導體場效電晶體閘極蝕製程之選擇性蝕刻法
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
李玉山
其他作者:
劉增豊
其他作者:
張翼
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
107頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE86-0007-8518522
應用於砷化嫁功率金屬半導體場效電晶體閘極蝕製程之選擇性蝕刻法
李玉山
應用於砷化嫁功率金屬半導體場效電晶體閘極蝕製程之選擇性蝕刻法
/ 李玉山 撰 ; 劉增豊 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 107頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8518522.
工程材料
劉增豊
應用於砷化嫁功率金屬半導體場效電晶體閘極蝕製程之選擇性蝕刻法
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20000526
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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833440300000120
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4012 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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三樓視聽資料區
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