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矽化鎢及其氮化處理在銅金屬化糸統之擴障礙特性
~
莊孟勳
矽化鎢及其氮化處理在銅金屬化糸統之擴障礙特性
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
莊孟勳
其他作者:
陳茂傑
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
140頁 : 11x15公分;
標題:
電子工程 -
附註:
MOE86-0007-8511508
矽化鎢及其氮化處理在銅金屬化糸統之擴障礙特性
莊孟勳
矽化鎢及其氮化處理在銅金屬化糸統之擴障礙特性
/ 莊孟勳 撰 ; 陳茂傑 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 140頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8511508.
電子工程
陳茂傑
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20000525
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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資料類型
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833448600000233
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448.6 4412 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833448600000234
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448.6 4412 V2
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