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電漿後處理於鋁導體連線之氮化鈦阻礙層之效應
~
吳文發
電漿後處理於鋁導體連線之氮化鈦阻礙層之效應
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
黃建榮
其他作者:
黃調元
其他作者:
吳文發
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
116頁 : 11x15公分;
標題:
電子工程 -
附註:
MOE86-0007-8511560
電漿後處理於鋁導體連線之氮化鈦阻礙層之效應
黃建榮
電漿後處理於鋁導體連線之氮化鈦阻礙層之效應
/ 黃建榮 撰 ; 黃調元 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 116頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8511560.
電子工程
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電漿後處理於鋁導體連線之氮化鈦阻礙層之效應
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20000524
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
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附件
833448600000178
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448.6 4419 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833448600000179
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448.6 4419 V2
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2 筆 • 頁數 1 •
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