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金屬層間介電層和複晶矽介電層之研究及其對深次微米元件之影響

~

林友民

金屬層間介電層和複晶矽介電層之研究及其對深次微米元件之影響

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林友民
其他作者:	雷添福
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	168頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE86-0007-8211810-D

金屬層間介電層和複晶矽介電層之研究及其對深次微米元件之影響
林友民

金屬層間介電層和複晶矽介電層之研究及其對深次微米元件之影響 / 林友民撰 ; 雷添福指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 168頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8211810-D.
電子工程

雷添福

金屬層間介電層和複晶矽介電層之研究及其對深次微米元件之影響
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200 1 $a 金屬層間介電層和複晶矽介電層之研究及其對深次微米元件之影響 $f 林友民撰 $g 雷添福指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 168頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0007-8211810-D
606 $a 電子工程 $3 505
700 $a 林友民 $4 撰 $3 95024
702 $a 雷添福 $4 指導 $3 60531
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000524

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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000129

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 4447 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833448600000130

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 4447 V2

1.一般(Normal)

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