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常壓下在si(100)基材上選擇性沉積銅膜之研究
~
蕭名君
常壓下在si(100)基材上選擇性沉積銅膜之研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
蕭名君
其他作者:
郭正次
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
99頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE86-0007-8418506
常壓下在si(100)基材上選擇性沉積銅膜之研究
蕭名君
常壓下在si(100)基材上選擇性沉積銅膜之研究
/ 蕭名君 撰 ; 郭正次 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 99頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8418506.
工程材料
郭正次
常壓下在si(100)基材上選擇性沉積銅膜之研究
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20000523
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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833140300000001
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3.不外借
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MF 140.3 4421 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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三樓視聽資料區
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