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化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用
~
曾偉志
化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
王英郎
其他作者:
馮明憲
其他作者:
曾偉志
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
251頁 : 11x15公分;
標題:
電子工程 -
附註:
MOE86-0007-8111865-D
化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用
王英郎
化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用
/ 王英郎 撰 ; 馮明憲 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 251頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8111865-D.
電子工程
馮明憲
化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用
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大葉大學
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20000523
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三樓視聽資料區
館藏
3 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
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借閱狀態
預約狀態
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833448600000115
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448.6 1043 V1
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限閱(視聽區)
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833448600000116
三樓視聽資料區
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