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以紫外光微影之高深寬比厚光阻

~

楊錦煌

以紫外光微影之高深寬比厚光阻

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	楊錦煌
其他作者:	黃瑞星
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	105頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	MOE86-0002-853984

以紫外光微影之高深寬比厚光阻
楊錦煌

以紫外光微影之高深寬比厚光阻 / 楊錦煌撰 ; 黃瑞星指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 105頁 ; 11x15公分.
MOE86-0002-853984.
電機工程

黃瑞星

以紫外光微影之高深寬比厚光阻
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200 1 $a 以紫外光微影之高深寬比厚光阻 $f 楊錦煌撰 $g 黃瑞星指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 105頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0002-853984
606 $a 電機工程 $3 9918
700 $a 楊錦煌 $4 撰 $3 94085
702 $a 黃瑞星 $4 指導 $3 64706
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000518

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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448000000132

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 4689 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833448000000133

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 4689 V2

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