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大面積平面型微波電漿源之特性研究

~

寇崇善

大面積平面型微波電漿源之特性研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳聖文
其他作者:	寇崇善
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	54頁 : 11x15公分;
標題:	物理 -
附註:	MOE86-0002-853367

大面積平面型微波電漿源之特性研究
陳聖文

大面積平面型微波電漿源之特性研究 / 陳聖文撰 ; 寇崇善指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 54頁 ; 11x15公分.
MOE86-0002-853367.
物理

寇崇善

大面積平面型微波電漿源之特性研究
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200 1 $a 大面積平面型微波電漿源之特性研究 $f 陳聖文撰 $g 寇崇善指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 54頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0002-853367
606 $a 物理 $3 2573
700 $a 陳聖文 $4 撰 $3 93620
702 $a 寇崇善 $4 指導 $3 61938
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000517

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833330000000025

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 330 7510

1.一般(Normal)

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