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大面積電感式電漿源之研製與特性量測

~

柳克強

大面積電感式電漿源之研製與特性量測

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	蔡世哲
其他作者:	柳克強
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	107頁 : 11x15公分;
標題:	工程與系統科學 -
附註:	MOE86-0002-853131

大面積電感式電漿源之研製與特性量測
蔡世哲

大面積電感式電漿源之研製與特性量測 / 蔡世哲撰 ; 柳克強指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 107頁 ; 11x15公分.
MOE86-0002-853131.
工程與系統科學

柳克強

大面積電感式電漿源之研製與特性量測
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200 1 $a 大面積電感式電漿源之研製與特性量測 $f 蔡世哲撰 $g 柳克強指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 107頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0002-853131
606 $a 工程與系統科學 $3 93547
700 $a 蔡世哲 $4 撰 $3 93570
702 $a 柳克強 $4 指導 $3 93555
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000517

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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440000000042

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440 4445-A V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833440000000043

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440 4445-A V2

1.一般(Normal)

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