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電漿製程反應器內中性氣體濃度分布之電腦模擬分析
~
潘欽
電漿製程反應器內中性氣體濃度分布之電腦模擬分析
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
陳世豪
其他作者:
潘欽
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
100頁 : 11x15公分;
標題:
工程與系統科學 -
附註:
MOE86-0002-853111
電漿製程反應器內中性氣體濃度分布之電腦模擬分析
陳世豪
電漿製程反應器內中性氣體濃度分布之電腦模擬分析
/ 陳世豪 撰 ; 潘欽 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 100頁 ; 11x15公分.
MOE86-0002-853111.
工程與系統科學
潘欽
電漿製程反應器內中性氣體濃度分布之電腦模擬分析
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20000517
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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館藏流通類別
資料類型
索書號
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833440000000017
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440 7540 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833440000000018
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
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