程曜

以深蝕光刻術製造聚焦還-子計畫三:深時光刻術之聚焦環製程Ⅰ by: 程曜; 行政院同步輻射研究中心籌建處 (Microfilm) , [撰]

以深蝕光刻術製造聚焦環-子計劃三：深蝕光刻術之聚焦環製程i=deep x-ray lithography for zone plate by: 程曜; 行政院同步輻射研究中心籌建處 (Microfilm)