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概要
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書目資訊
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主題
ElwenspoekM.
概要
作品:
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書目資訊
Silicon micromachining
by: ElwenspoekM.; JansenH.
(書目-語言資料,印刷品)
Mechanical microsensors
by: ElwenspoekM.; WiegerinkR.
(書目-語言資料,印刷品)
主題
Silicon.
Micromachining.
Transducers.
Mircroelectromechical system..
Detectors--Design and const..
Etching.
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...
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