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主題
詹明雄
概要
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以氨氣/ar或氮氣/ar為混合氣體之rf濺鍍成長tanx薄膜及其在擴散障壁層上之應用及比較
by: 詹明雄
(微縮資料)
, [撰]
主題
化學工程
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