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使用uhv/cvd低溫成長複晶矽於微米元件之應用=low tempera...

交通大電子工程研究所

使用uhv/cvd低溫成長複晶矽於微米元件之應用=low temperature growth of polycrystalline silicon by huv/cvd for the applicati

使用uhv/cvd低溫成長複晶矽於微米元件之應用=low temperature growth of polycrystalline silicon by huv/cvd for the applicati
雷添福

使用uhv/cvd低溫成長複晶矽於微米元件之應用=low temperature growth of polycrystalline silicon by huv/cvd for the applicati / 雷添福 ; 交通大電子工程研究所 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 130頁 ; 11x15公分.
NSC84-215-E009-023.

使用uhv/cvd低溫成長複晶矽於微米元件之應用=low temperature growth of polycrystalline silicon by huv/cvd for the applicati
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