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阻障金屬對銅化學機械研磨製程之影響研究

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許伯全

阻障金屬對銅化學機械研磨製程之影響研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	許伯全
其他團體作者:	逢甲大學電機工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	98頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	MOE88-1007-M8703814

阻障金屬對銅化學機械研磨製程之影響研究
許伯全

阻障金屬對銅化學機械研磨製程之影響研究 / 許伯全撰 ; 逢甲大學電機工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 98頁 ; 11x15公分.
MOE88-1007-M8703814.
電機工程

阻障金屬對銅化學機械研磨製程之影響研究
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448000003234

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 0828-B V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833448000003235

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 0828-B V2

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