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氮化鉭與氮化矽鉭在銅金屬化系統之擴散阻礙特性

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吳其昌

氮化鉭與氮化矽鉭在銅金屬化系統之擴散阻礙特性

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	吳其昌
其他團體作者:	逢甲大學電機工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	134頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	MOE88-1007-M8703769

氮化鉭與氮化矽鉭在銅金屬化系統之擴散阻礙特性
吳其昌

氮化鉭與氮化矽鉭在銅金屬化系統之擴散阻礙特性 / 吳其昌撰 ; 逢甲大學電機工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 134頁 ; 11x15公分.
MOE88-1007-M8703769.
電機工程

氮化鉭與氮化矽鉭在銅金屬化系統之擴散阻礙特性
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448000003226

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 2646 V1

1.一般(Normal)

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833448000003227

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 2646 V2

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