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三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究
~
余志誠
三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
余志誠
其他作者:
邱俊誠
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
109頁 : 11x15公分;
標題:
電機與控制工程 -
附註:
MOE86-0007-8512550
三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究
余志誠
三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究
/ 余志誠 撰 ; 邱俊誠 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 109頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8512550.
電機與控制工程
邱俊誠
三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究
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20000525
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全部
三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
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借閱狀態
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附件
833448000000448
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448 8040 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
833448000000449
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448 8040 V2
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