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銅薄膜在〈100〉矽晶片上之氧化及熱穩定性
~
台灣工業技術學院化學工程技術系
銅薄膜在〈100〉矽晶片上之氧化及熱穩定性
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
李嘉平
其他團體作者:
台灣工業技術學院化學工程技術系
出版地:
台北市
出版者:
科學技術資料中心;
面頁冊數:
79頁 : 11x15公分;
標題:
化學工程 -
附註:
NSC84-2214-E011-014
銅薄膜在〈100〉矽晶片上之氧化及熱穩定性
李嘉平
銅薄膜在〈100〉矽晶片上之氧化及熱穩定性
/ 李嘉平 撰 ; 台灣工業技術學院化學工程技術系 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 79頁 ; 11x15公分.
NSC84-2214-E011-014.
化學工程
銅薄膜在〈100〉矽晶片上之氧化及熱穩定性
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19991123
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三樓視聽資料區
館藏
1 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
804460000001319
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料
MF 460 4041-A1
1.一般(Normal)
在架
0
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